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製品解説 特徴・利点 概要・仕様

ウェハマーカ SL473シリーズ

半導体ウェハの表面および裏面(※1)に品名、製造ロット番号等の管理番号をレーザーマーキングする装置です。(※1)裏面印字オプション

Si、GaAsウェハの他 UVレーザ搭載モデルのSL473DT2ではSiC、GaN等の次世代材料ウェハにもレーザーマーキングが可能です。
ウェハマーカ SL473シリーズ

次世代材料用モデル(DT2)、少生産仕様低価格モデル(DS2)、多生産仕様高スループットモデル(FS4)、300mmウェハ専用モデル(GS3)計4モデルをラインアップ


 
 
 
     
 =オプション=
3,8インチ、複数サイズ対応
  =オプション=
3,8インチ、複数サイズ対応
 

  
  
  =オプション=
4インチ、複数サイズ対応、4キャリア仕様
  



   

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