ウェハマーカ
WAFER MARKER
トレーサビリティ向上に貢献
ウェハマーカ SL473シリーズ
Si、GaAsの他、 SiC、GaN等のウェハにもレーザマーキングが可能なモデルもラインナップ。ウェハ材質やサイズ、生産能力に応じた豊富なラインナップにより、半導体製造工程へのトレーサビリティ向上に貢献
特長
FEATURE
視認性の良い安定した印字
対象ウェハに適したレーザ発振器の搭載とレーザパワーの自動補正機能により視認性の良い安定した印字が可能です。
簡単操作で高い汎用性
レシピ変更の簡単操作でサイズや材質の異なるウェハへの印字も可能です。
（複数サイズ対応、裏面印字対応はオプション）
豊富なオプションと拡張性
オンライン通信、ウェハIDリーダー、マーキング検査機能、集塵ユニット
多生産仕様高スループットモデル
SL473FS / FTシリーズ
2キャリア仕様 、4キャリア仕様の2つのモデルをラインナップ
用途
PURPOSE
SL473FSシリーズ：Siウェハ、GaAsやInP等のウェハへのソフトマーキング
SL473FTシリーズ：上記ウェハ、SiC、GaNウェハ
主な仕様
SPECIFICATION
| 形式 | SL473FSシリーズ | SL473FTシリーズ |
|---|---|---|
| レーザの種類 | Nd:YAG-SHGレーザ 波長：532nm |
Nd:YLF-THGレーザ 波長：349nm |
| 搭載キャリア数 | 2 or 4 | |
| ウェハサイズ | 4, 5, 6, 8 インチ （オプション：複数サイズ） |
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| 外形寸法[mm]（※1） | 約1,220(W)×1,244(D)×1,492(H)（2キャリア仕様） 約1,220(W)×1,646(D)×1,492(H)（4キャリア仕様） |
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| 本体重量 | 約850kg（2キャリア仕様） 約900kg（4キャリア仕様） |
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- （※1）突起物は含みません
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